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EJA傳感(gan)器(qi)是一(yi)個大(da)的(de)(de)概念，它有多種類型，比如壓力(li)，差壓等。結(jie)構原理(li)單(dan)晶(jing)(jing)硅諧(xie)振(zhen)傳感(gan)器(qi)的(de)(de)核心部分(fen)(fen)，即(ji)在一(yi)單(dan)晶(jing)(jing)硅芯片上采用微(wei)電子(zi)機械加工技術（MEMS），分(fen)(fen)別在其(qi)表(biao)面的(de)(de)中心和邊緣作成兩(liang)個形狀、大(da)小(xiao)*一(yi)致的(de)(de)H 形狀的(de)(de)諧(xie)振(zhen)梁(liang)（H 型狀諧(xie)振(zhen)器(qi)有兩(liang)個振(zhen)梁(liang)），且處于(yu)微(wei)型真空(kong)腔中，使其(qi)即(ji)不與充灌液接觸，又確(que)保振(zhen)動(dong)時(shi)不受空(kong)氣(qi)阻尼的(de)(de)影響。